アモルファスシリコン

amorphous silicon

非晶質シリコンのことを表す。長距離秩序（ＬＲＯ）が失われることにより、配位手が切れてダングリングボンドが多数生じ、ギャップ内準位を形成するために価電子制御が困難であった。しかし、シランガス(SiH4)をプラズマCVD処理により分解し、基板上に薄膜を形成させると、水素原子がダングリングボンドと結合することにより、価電子制御が可能になった。アモルファスシリコンは光吸収係数が高く、太陽電池として使用可能である。